XCT8500はCOMETオープンレイチューブ設計を採用しており、最大0.5μmの欠陥検出能力を備えています。2D/3D/CTなどの検査方法も導入でき、品質検査、3次元測定、非破壊分析に適しています。PCBボード、チップ、IGBTモジュール、センサー、ヒューズ、コンポーネント、プラスチック部品、セラミックス、生体材料、小型鋳造部品、アルミニウム鋳物の製品検査に適しています。3D X線検査装置は、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。
XCT8500はエクスロンX線管設計を採用しており、欠陥検出能力は0.5μmに達することができます。2D/3D/CTなどの検出方法を実現でき、品質検査、三次元測定、非破壊分析に適しています。
●平面CT機能(PCT)により、プリント基板、SMT、IGBT、ウェーハなどの3D/CT検査に使用可能です。
●コーンビームCT機能付きで、センサー、リレー、マイクロモーター、材料、アルミ鋳物などの検出に使用可能
●便利な360°定点観測モード
●2D気泡検知ソフトウェアモジュール(オプション)
●3D計測・解析ソフトウェアモジュール(オプション)
X線管パラメータ
チューブタイプ | オープンマイクロフォーカストランストランスミッションX線源 |
チューブ電圧範囲 | 20-160KVの |
チューブ電流範囲 | 0.01mA ~ 1.0mA |
最大チューブ出力 | 64W |
最大ターゲット電力 | 15W |
最小オブジェクト距離 (FOD) | 300ウメン |
マイクロフォーカスサイズ | < 1 um |
最小の欠陥検出能力 | < 500 nm |
フラットパネル検出器のパラメータ
フラットパネルタイプ | アモルファスシリコンフラットパネル検出器(オプション) |
ピクセルマトリックス | 1536×1536 |
視野 | 130mm×130mm |
解決 | 5.8Lp/mm |
lmageフレームレート(1x1) | 20fpsの |
AD変換桁数 | 16ビット |
3D/CTパラメータ(オプション機能)
CTスキャンサイクル | 20代 |
CT再構成時間 | 30代 |
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